杭州中欣晶圆半导体股份有限公司8英寸、12英寸生产线升级改造项目拟在杭州市钱塘新区东垦路888号杭州中欣晶圆现有厂区内实施,根据《浙江省建设项目环境保护管理办法》及《环境影响评价公众参与暂行办法》的规定,对建设项目环境影响评价进行公示。
一、联系单位情况
1、建设单位名称及联系方式
单位名称:杭州中欣晶圆半导体股份有限公司
单位地址:杭州市钱塘新区东垦路888号
联系人:刘工 联系电话:15068745682
2、环境影响评价单位名称和联系方式
环境影响评价单位:浙江九寰环保科技有限公司
地址:杭州市西湖区文一路202号 邮编:310012
联系电话:13646836516 邮箱:774198362@qq.com
3、审批部门联系方式
单位名称:杭州市生态环境局钱塘分局受理中心
单位地址:杭州钱塘新区江东大道3899号大江东办事服务中心3楼
联系电话:0571-82987912 传真:0571-82987920
二、项目基本情况
1、项目名称:8英寸、12英寸生产线升级改造项目;
2、项目性质:技改;
3、建设单位:杭州中欣晶圆半导体股份有限公司;
4、项目投资:102059万元;
5、项目建设地点:杭州市钱塘新区东垦路888号杭州中欣晶圆现有厂区内;
6、建设规模与内容:本项目不新增产能。本次主要技改内容如下:①通过引入自动仓库管理系统、洗净机自动上下料系统、自动检查台等先进软硬件设备,对现有8英寸生产线工艺进行改进,提高生产效率及产品品质;②购置AP-CVD、LP-CVD、氩退火炉等设备,在原来12英寸生产线的基础上,增加氧化硅背封抛光片(重掺)、多晶背封抛光片(重掺)、氩气退火抛光片(轻掺)等产品规格;③新增一套制氮系统;④现有氨水、双氧水、混酸等储存方式由桶装改为储罐装。
三、敏感点目标分布:
本项目周边敏感点目标分布情况汇总如下表:
表1 本项目周边敏感点目标分布情况
类别 | 保护目标名称 | UTM坐标/m | 保护 对象 | 保护内容 | 环境功能区 | 相对厂址方位 | 相对厂界距离/m | |
X | Y | |||||||
大气 环境 | 新江村 | 255895.5 | 3360599.3 | 居民区 | 约2265人 | 二类空气环境功能区 | 西侧 | 1600 m |
江东村 | 255872.8 | 3358847.9 | 居民区 | 约2229人 | 西南侧 | 1970 m | ||
浪琴湾住宅区 | 258432.4 | 3358086.4 | 居民区 | 约3000人 | 南侧 | 2500 m | ||
春雷村 | 260164.4 | 3358733.6 | 居民区 | 约1998人 | 东南侧 | 2030 m | ||
春园村 | 260549.9 | 3357788.4 | 居民区 | 约843人 | 东南侧 | 2740 m | ||
环境 风险 | 新江村 | 255895.5 | 3360599.3 | 居民区 | 约2265人 | / | 西侧 | 1600 m |
江东村 | 255872.8 | 3358847.9 | 居民区 | 约2229人 | 西南侧 | 1970 m | ||
浪琴湾住宅区 | 258432.4 | 3358086.4 | 居民区 | 约3000人 | 南侧 | 2500 m | ||
春雷村 | 260164.4 | 3358733.6 | 居民区 | 约1998人 | 东南侧 | 2030 m | ||
春园村 | 260549.9 | 3357788.4 | 居民区 | 约843人 | 东南侧 | 2740 m | ||
江东幼儿园 | 255352.2 | 3359501.9 | 学校 | 约200人 | 西南侧 | 2750 m | ||
新围初级中学 | 255306.6 | 3358113.0 | 学校 | 约1000人 | 西南侧 | 3600 m | ||
钱塘区政府 | 258478.8 | 3357503.2 | 办公 | 约300人 | 南侧 | 2960 m | ||
义蓬第三小学 | 260749.6 | 3358045.7 | 学校 | 约500人 | 东南侧 | 3640 m | ||
地表水 | 钱江直河 | / | / | / | / | IV类水环境功能区 | 东侧 | 紧邻 |
七横河 | / | / | / | / | 南侧 | 紧邻 | ||
声环境 | 厂址周围200m范围内无声环境敏感点 | 3类声环境功能区 | / | / | ||||
土壤 | 厂址周围200m范围内周围耕地 | / | / | / |
四、污染防治措施情况:
本项目所采取的主要污染防治措施汇总情况见表2。
表2 本项目主要污染防治措施汇总表
内容 类型 | 主要内容 | 预期治理效果 | ||
废气 | CP清洗废气、FBA2车间新增氨水罐呼吸废气 | 一级酸洗后经36m高排气筒排放,排放口编号DA001 | 《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93 | |
FBA2车间新增混酸储罐呼吸废气 | 一级碱喷淋后经36m高排气筒排放,排放口编号DA003 | 《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996) | ||
CVD反应废气、CVD反应仓清洗废气、退火炉托盘及炉管清洗废气 | 一级碱喷淋+一级氧化反应塔+二级还原反应塔处理后经42m高高排气筒排放,排放口编号DA008 | 《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996) | ||
FBA1车间新增氨水罐呼吸废气 | 一级酸洗后经42m高排气筒排放,排放口编号DA009 | 《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93 | ||
端面处理废气、AP-CVD托盘清洗废气 | 一级碱喷淋后经42m高排气筒排放,排放口编号DA010 | 《大气污染物综合排放标准》(GB16297-1996) | ||
污水站废气 | 一级酸喷淋+一级碱喷淋后经36m高排气筒排放,排放口编号DA016 | 《恶臭污染物排放标准》(GB14554-93 | ||
废水 | 酸碱废水 | 酸碱废水预处理 | 分别经预处理后进入末端生化处理设施处理后达标纳管排入临江污水处理厂 | 《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)中表1间接排放限值 |
含氨废水 | 含氨废水预处理 | |||
研磨废水 | 研磨废水预处理 | |||
含氟废水 | 含氟废水预处理 | |||
其他废水 | / | |||
地下水 | 做好分区防渗工作 | 防治地下水污染 | ||
噪声 | 设备选型时,选择低噪声设备; 设备安装在室内,为振动设置减震基础,隔声罩等 | 厂界达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中3类标准 | ||
固废 | 各类废物收集后暂存在暂存场地内,不得露天放置,放置场所做好地面的硬化防腐,并设置明显的标志。危险固废委托有资质的公司处置,一般固废环卫部门清运处理。 | 实现资源化、减量化、无害化 |
五、建设项目对环境可能造成影响的概述
1、大气环境影响结论
根据估算模式,本项目大气评价等级为二级,无需进一步预测。根据估算结果可知:本项目排放的氨气、HF、NOx、PM10、HCl等最大浓度占标率均小于10%,没有超出标准限值,本项目无需设置大气防护距离。
因此,本次评价认为本项目大气环境影响可以接受。
2、地表水环境影响结论
根据调查,建设项目区域污水管网完善,具备纳管可行性。本项目实施后全厂废水(含在建项目)产生量约7865.6t/d<8400t/d,现有末端污水处理站处理能力能够满足本项目实施后需求。本项目新增废水排放量约938.6t/d,萧山临江污水处理厂目前处理水量约29万t/d,现有处理能力50万t/d,可满足本项目的处理水量。临江污水处理厂近期运行监测数据能够符合标准,污水厂运行情况良好。综上分析,项目废水纳管在时间、空间容量上均可行,不会对污水处理厂的运行造成不利影响。
3、声环境影响结论
根据预测分析,本项目对主要噪声源采取措施后,各侧厂界的昼夜噪声预测值均可以达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)3类标准,即昼间≤65dB,夜间≤55dB,对周边环境影响不大。同时,本项目实施后,敏感点距离厂界较远,经距离衰减后基本无影响,不会造成噪声扰民的情况。
4、固废影响结论
根据工程分析本项目新增固体废弃物主要包括废过滤材料、废机油、沾染危化品的废包装材料、新增含氟废水处理污泥、新增其他废水处理污泥、新增生化污泥等。危险废物可委托有资质单位无害化处置,一般固废综合利用等。在厂内按《危险废物贮存污染控制标准》(GB18597-2001)及修改单、《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》(GB18599-2020)要求规范贮存。综上所述,只要严格执行本报告中提出的各项固废处置措施,本项目固废均能得到有效处置,实现零排放,对环境的影响较小。
5、土壤环境影响结论
总体来说,在企业废气治理设施正常运行,且应切实落实废水的收集、输送以及各类危化品和固废的贮存工作,做好各类设施及地面的防腐、防渗措施,加强废气治理设施运行维护,在此基础上,本项目的建设对土壤环境影响整体是可接受的。
6、环境风险影响分析结论
只要生产过程控制合理,操作工培训到位,设备成熟可靠,各专业在设计中严格执行各专业有关规范中的安全环保条款,正常情况下能够保证安全生产和达到工业企业设计卫生标准的要求。通过采取风险管理中提出的各项措施,企业可有效的防止泄漏、火灾、爆炸等事故的发生,一旦发生事故,依靠厂内的安全防护设施和事故应急措施也可及时控制事故,防止事故的蔓延。因此,只要严格遵守各项安全操作规程和制度,加强安全管理,正常生产情况下企业环境风险程度属于可接受水平。
六、征求公众意见的主要事项
为征求拟建地周边公众对杭州中欣晶圆半导体股份有限公司8英寸、12英寸生产线升级改造项目有关环境保护工作的意见和建议,特将本工程公示,征求公众的宝贵意见和建议。
(1)公众对本项目是否认可;
(2)公众就本项目建设对周围环境影响的意见;
(3)公众对本项目环境保护工作的建议。
七、公众提出意见的主要方式
采取项目周边村庄公示栏张贴公示的形式。公众可通过向公示指定地址发送信函、传真、拨打电话等方式,发表对杭州中欣晶圆半导体股份有限公司8英寸、12英寸生产线升级改造项目的建设及环评工作的意见和看法,如需查阅环评报告初稿,可拨打企业或环评单位电话索取。
公示时间:2022年6月6日~2022年6月17日(双休日除外),共10个工作日。
征求公众意见时间:2022年6月6日~2022年6月17日(双休日除外),共10个工作日。
环境影响评价单位将在本工程《环境影响报告书》中真实记录公众的意见和建议,并将公众的宝贵意见、建议向工程的建设单位、设计单位和有关部门反映。
[注]:请公众在发表意见的同时尽量提供详尽的联系方式。
公告发布单位:杭州中欣晶圆半导体股份有限公司
公告发布时间:二〇二二年六月二日