水，作为生命之源，生产之要，其珍贵性不言而喻。而在这个水资源日益紧张的时代，节水行动显得尤为重要。日前，上海中欣晶圆半导体科技有限公司“工业用水重复利用项目”荣获2023年上海市工业水重复利用优秀案例优胜奖。

  自2017年后，上海工厂的自来水消耗量上升明显，逐月累计涨幅达75.87%，已连续数月超出用水量管控指标。随着公司产能的增加，针对制造后期产能提升和新车间投产的需求，急需解决用水量超标的问题。通过工厂的水平衡，从生产的技术工艺、管网的滴跑漏、节水工艺上降低公司的自来水使用量。

  该项目包括4个系统，8寸一期洗净水回用系统、6/8寸二期洗净机洗净水回收系统、纯水站RO浓水回收再用系统及废水站酸碱废水回收再用系统。2018年通过改进生产工艺，将8寸车间洗净机清洗槽清洗水回收，经过处理后用于纯水站制纯水。在8寸一期洗净水回用系统装置运行稳定的情况下，再对6/8寸车间的含双氧水和含氟的清洗水进行回收，收集处理后的再生水供应到纯水站原水箱，用于制作纯水。8寸一期洗净水回用系统及6/8寸二期洗净机洗净水回收系统装置重复利用率皆达到82.5%。此外，纯水站RO浓水回收再用系统于2020年通过技术升级提升了处理能力，重复利用率达到75%。2022年，废水站的酸碱废水回收再用系统也取得显著成效，通过工艺处理后的再生水达到自来水标准并供纯水站使用，重复利用率达到70%。通过中水回用节水管理措施，上海中欣晶圆取得了良好的节水成效，节水量可达119.2万立方米/年，工业水重复利用率达52.5%左右。通过不断完善节水管理制度，取得良好的社会效益和经济效益。

  作为一家半导体硅片研发与生产的企业，中欣晶圆一直将保护地球环境活动视为重要的经营课题之一，积极推进节能及清洁能源技术的研发与应用，为解决全球环境问题贡献出我们的一份力量。中欣晶圆于2023年荣膺“ESG实践先锋企业”的荣誉称号。未来，我们将继续以节水、节能、环保为己任，为行业的可持续发展贡献力量！